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牌 ： O x f o r d I n s t r u m e n t s 型 号 ： P l a s m a P r o 1 0 0 C o b r a 3 0 0 简 介 ： 可 用 于 硅 ， 二 氧 化 硅 ， 氮 化 硅 ， 碳 化 硅 表 面 微 纳 结 构 的 刻 蚀 。 六 种 标 准 工 艺 : H i g h r a t e D S i E ， H i g h A s p e c t R a t i o D S i E , S i O 2 s h a l l o w e t c h ( R I E M o d e a n d I C P M o d e ) , S i N e t c h , S i C e t c h . 多 功 能 物 性 测 量 系 统 P P M S 品 牌 ： 英 国 C r y o g e n i c 型 号 ： C F M S 1 4 T 简 介 ： 在 低 温 强 磁 场 下 测 量 磁 学 ， 热 学 ， 电 输 运 特 性 。 电 子 束 曝 光 系 统 品 牌 ： N a n o B e a m L i m i t d 型 号 ： n B 5 简 介 ： 采 用 了 高 度 聚 焦 的 电 子 束 对 所 需 器 件 进 行 版 图 定 义 ， 可 实 现 纳 米 量 级 的 精 度 ， 满 足 超 紧 凑 和 超 精 细 的 纳 米 结 构 设 计 ， 是 集 成 电 路 微 纳 器 件 和 半 导 体 精 密 掩 膜 制 造 的 关 键 技 术 ， 是 微 电 子 、 微 机 械 、 微 纳 米 光 学 研 究 的 必 配 设 备 。 透 射 电 镜 原 位 纳 米 力 学 测 试 系 统 品 牌 ： H y s i t r o n 型 号 ： P I 9 5 简 介 ： 可 以 在 透 射 电 镜 中 精 确 地 定 位 压 头 并 对 变 形 过 程 成 像 ， 同 时 得 到 定 量 的 载 荷 和 位 移 的 数 据 。 扫 描 电 镜 原 位 纳 米 力 学 测 试 系 统 品 牌 ： H y s i t r o n 型 号 ： P I 8 5 简 介 ： 可 以 在 扫 描 电 镜 中 精 确 地 定 位 压 头 并 对 变 形 过 程 成 像 ， 同 时 得 到 定 量 的 载 荷 和 位 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中 南 大 学 现 代 分 析 测 试 中 心 哈 尔 滨 工 业 大 学 分 析 测 试 中 心 相 关 单 位 链 接 教 育 部 科 技 发 展 中 心 高 校 分 析 测 试 中 心 研 究 会 上 海 研 发 公 共 服 务 平 台 其 他 链 接 地 址 ： 陕 西 省 西 安 市 碑 林 区 友 谊 西 路 1 2 7 号 西 北 工 业 大 学 邮 编 ： 7 1 0 0 7 2 联 系 电 话 ： 0 2 9 8 8 4 6 0 7 4 7 ； 账 户 激 活 / 财 务 电 话 ： 0 2 9 8 8 4 6 0 4 4 0 学 校 主 页 分 析 测 试 中 心 转 换 链 接 错 误 > 办 事 指 南   西 北 工 业 大 学 分 析 测 试 中 心 版 权 所 有

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