深硅刻蚀真空镀膜_磁控溅射_材料刻蚀_紫外光刻-广东省科学院半导体研究所 is close!

广东省科学院半导体研究所是直属于广东省科学院的23个骨干科研院所之一，是中国有色金属学会宽禁带半导体专业委员会的挂靠单位，拥有广东省固态紫外光源工程技术研究中心、宽禁带半导体材料与器件创新中心、车规级功率电子器件可靠性检测与认证中心等多个省市级平台。

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