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Y A S K A W A 安 川 双 腕 玻 璃 基 板 搬 运 机 器 人 N i d e c 三 协 液 晶 面 板 搬 . . . Y A S K A W A 安 川 双 臂 真 空 . . . Y A S K A W A 安 川 双 臂 真 空 晶 圆 传 送 机 械 手 R o b o s t a r 罗 普 伺 达 双 臂 . . . R o b o s t a r 罗 普 伺 达 双 臂 晶 圆 移 送 装 载 机 械 手 K a w a s a k i 川 崎 硅 片 传 输 . . . K a w a s a k i 川 崎 硅 片 传 输 机 械 手 优 势 ： 采 用 伸 缩 结 构 ， 可 兼 顾 向 低 位 传 递 和 向 高 位 输 送 。 对 应 F O U P 数 ： 最 多 3 F O . . . D A I H E N 双 臂 真 空 晶 圆 传 . . . D A I H E N 双 臂 真 空 晶 圆 传 输 机 械 手 优 势 ： 6 5 0 W P H 真 空 高 速 稳 定 传 输 ， 超 高 轨 迹 精 度 和 定 位 精 度 ， 且 具 备 晶 圆 中 心 . . . N i d e c 尼 得 科 双 臂 半 导 . . . 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