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安 泊 智 汇 半 导 体 设 备 （ 上 海 ） 有 限 公 司 C N | E N 首 页 关 于 我 们 公 司 简 介 发 展 历 程 企 业 荣 誉 产 品 中 心 先 进 封 装 功 率 模 块 行 业 应 用 凸 点 封 装 工 艺 晶 圆 级 扇 出 封 装 2 . 5 D 及 3 D 封 装 技 术 I G B T 功 率 模 块 封 装 新 闻 中 心 活 动 公 告 公 司 要 闻 行 业 新 闻 人 才 招 聘 联 系 我 们 晶 圆 制 造 设 备 、 先 进 封 装 设 备 及 真 空 传 输 腔 体 的 设 计 、 制 造 及 工 艺 研 发 以 技 术 为 驱 动 ， 以 客 户 为 中 心 ， 打 造 先 进 工 艺 产 品 。 晶 圆 制 造 设 备 、 先 进 封 装 设 备 及 真 空 传 输 腔 体 的 设 计 、 制 造 及 工 艺 研 发 以 技 术 为 驱 动 ， 以 客 户 为 中 心 ， 打 造 先 进 工 艺 产 品 。 晶 圆 制 造 设 备 、 先 进 封 装 设 备 及 真 空 传 输 腔 体 的 设 计 、 制 造 及 工 艺 研 发 以 技 术 为 驱 动 ， 以 客 户 为 中 心 ， 打 造 先 进 工 艺 产 品 。 关 于 我 们 聚 焦 于 晶 圆 制 造 、 先 进 封 装 设 备 及 真 空 传 输 腔 体 的 设 计 、 制 造 及 工 艺 研 发 技 术 安 泊 智 汇 半 导 体 设 备 （ 上 海 ） 有 限 公 司 由 一 批 海 内 外 顶 尖 半 导 体 公 司 工 作 经 历 的 专 家 组 成 。 具 有 丰 富 的 半 导 体 设 备 设 计 、 工 艺 研 发 、 制 造 和 管 理 经 验 ， 熟 悉 半 导 体 行 业 的 发 展 与 工 艺 前 瞻 技 术 。 公 司 的 产 品 及 解 决 方 案 聚 焦 于 半 导 体 晶 圆 制 造 、 先 进 封 装 行 业 ， 同 时 应 用 于 M E M S 、 光 电 子 、 功 率 器 件 及 消 费 类 电 子 等 领 域 。 走 进 安 泊 智 汇 真 空 获 得 技 术 V a c u u m d e g r e e 1 0 1 0 P a 公 司 技 术 团 队 有 超 高 真 空 M B E 设 备 、 高 真 空 磁 控 溅 射 设 备 及 A L D 设 备 的 经 验 ， 对 于 真 空 的 获 得 及 真 空 度 测 量 的 技 术 具 有 不 同 的 解 决 方 案 。 温 度 控 制 及 均 匀 性 T e m p e r a t u r e u n i f o r m i t y ± 1 ° 加 热 器 、 p e d e s t a l 或 者 s u s c e p t o r 表 面 温 度 的 控 制 及 调 整 技 术 ， 可 以 在 高 温 下 （ 8 5 0 C ） 将 s u s c e p t o r 温 度 控 制 到 + / 1 ℃ 。 团 队 对 于 温 控 器 的 选 择 、 温 控 算 法 的 深 度 开 发 具 有 多 年 经 验 。 薄 膜 沉 积 W i W T H K u n i f o r m i t y % 技 术 团 队 从 事 多 年 P V D ， P E C V D ， M O C V D 及 A L D 设 备 的 设 计 及 研 发 ， 对 于 气 体 的 流 畅 、 热 场 ， 薄 膜 沉 积 厚 度 、 材 料 电 阻 、 介 电 常 数 或 者 应 力 的 控 制 ， 具 有 丰 富 的 经 验 真 空 高 压 脱 泡 A f t e r p r o c e s s v o i d 0 真 空 高 压 脱 泡 是 根 据 H e n r y 定 律 ， 结 合 材 料 的 黏 度 与 温 度 的 关 系 ， 通 过 高 压 和 真 空 结 合 的 方 法 ， 将 材 料 中 的 大 小 气 泡 消 除 ， 从 而 保 证 了 芯 片 的 寿 命 及 可 靠 性 先 进 封 装 产 品 中 心 行 业 应 用 了 解 更 多 凸 点 封 装 工 艺 B u m p i n g 是 在 晶 圆 上 制 作 凸 点 或 者 微 凸 点 ， 实 现 芯 片 和 P C B 或 者 基 板 的 电 气 联 接 ， 在 W L C S P ， F C 及 F O 工 艺 中 被 广 泛 使 用 。 晶 圆 级 扇 出 封 装 扇 出 型 晶 圆 级 封 装 技 术 采 取 在 芯 片 尺 寸 以 外 的 区 域 做 I / O 接 点 的 布 线 设 计 ， 提 高 I / O 接 点 数 量 。 采 用 R D L 工 艺 让 芯 片 可 以 使 用 的 布 线 区 域 增 加 ， 充 分 利 用 到 芯 片 的 有 效 面 积 ， 达 到 降 低 成 本 的 目 的 。 2 . 5 D 及 3 D 封 装 技 术 2 . 5 D 是 指 采 用 了 中 介 层 进 行 高 密 度 I / O 互 连 的 封 装 ; 3 D 是 指 芯 片 通 过 T S V 直 接 进 行 高 密 度 互 连 。 I G B T 功 率 模 块 封 装 I G B T 模 块 封 装 是 将 多 个 I G B T 集 成 封 装 在 一 起 ， 以 提 高 I G B T 模 块 的 使 用 寿 命 和 可 靠 性 ， 体 积 更 小 、 效 率 更 高 、 可 靠 性 更 高 是 市 场 对 I G B T 模 块 的 需 求 趋 势 。 新 闻 动 态 了 解 安 泊 最 新 动 态 了 解 更 多 2 0 2 4 1 0 2 3 安 泊 智 汇 参 加 无 锡 半 导 体 封 测 年 会 和 半 导 体 展 会 2 0 2 4 1 0 2 2 中 国 芯 片 取 得 重 大 技 术 突 破 ， 绕 开 E U V 光 刻 机 ， A S M L 彻 底 傻 眼 了 2 0 2 4 1 0 2 2 2 0 2 4 全 球 半 导 体 公 司 5 0 强 2 0 2 4 1 0 2 2 高 通 旗 舰 芯 皇 性 能 狂 飙 ， 挤 爆 牙 膏 ！ 关 于 我 们 公 司 简 介 发 展 历 程 企 业 荣 誉 产 品 中 心 先 进 封 装 功 率 模 块 行 业 应 用 凸 点 封 装 工 艺 晶 圆 级 扇 出 封 装 2 . 5 D 及 3 D 封 装 技 术 I G B T 功 率 模 块 封 装 新 闻 中 心 活 动 公 告 公 司 要 闻 行 业 新 闻 人 才 招 聘 联 系 我 们 服 务 热 线 0 2 1 6 0 9 1 3 6 6 8 上 海 市 闵 行 区 昌 林 路 6 8 0 弄 上 海 浦 东 软 件 园 （ 洋 帆 ） 智 造 基 地 8 8 号 s a l e s @ a m b e r s e m i . c o m 关 注 公 众 号 C o p y r i g h t © 2 0 2 0 安 泊 智 汇 半 导 体 设 备 （ 上 海 ） 有 限 公 司     沪 I C P 备 2 0 2 2 0 2 6 6 9 6 号 1     沪 公 网 安 备 3 1 0 1 1 2 0 2 0 1 4 4 3 1 P o w e r e d b y M o e n

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