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微纳飞科技位于国际化创新城市深圳，团队成员毕业于北京大学、清华大学、南京大学等高等学府，具有丰富的微纳器件研发和产业化经验。公司专注于新型微纳器件的定制设计开发、工艺验证、外协加工，以专业、严谨、高效的精神，精细化的全流程管理，为国内外合作伙伴提供高水平的技术服务与解决方案。

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微 纳 飞 公 司 简 介 服 务 与 支 持 核 心 技 术 行 业 应 用 合 作 伙 伴 中 文 / E n 公 司 简 介 微 纳 飞 科 技 位 于 国 际 化 创 新 城 市 深 圳 ， 团 队 成 员 毕 业 于 北 京 大 学 、 清 华 大 学 、 南 京 大 学 等 高 等 学 府 ， 具 有 丰 富 的 微 纳 器 件 研 发 和 产 业 化 经 验 。 公 司 专 注 于 新 型 微 纳 器 件 的 定 制 设 计 开 发 、 工 艺 验 证 、 外 协 加 工 ， 以 专 业 、 严 谨 、 高 效 的 精 神 ， 精 细 化 的 全 流 程 管 理 ， 为 国 内 外 合 作 伙 伴 提 供 高 水 平 的 技 术 服 务 与 解 决 方 案 。 服 务 与 支 持 微 纳 器 件 加 工 工 艺 掌 握 领 先 的 加 工 工 艺 技 术 ， 提 供 成 熟 的 解 决 方 案 ， 协 助 高 校 与 科 研 机 构 完 成 高 效 、 可 靠 的 器 件 加 工 。 微 纳 器 件 设 计 开 发 基 于 多 年 的 科 研 与 经 验 的 积 淀 ， 具 备 先 进 的 微 纳 器 件 设 计 、 制 造 、 封 装 和 测 试 等 技 术 能 力 ， 保 证 高 精 度 的 质 量 把 控 与 交 付 。 定 制 化 测 试 服 务 凭 借 丰 富 的 资 源 优 势 ， 针 对 不 同 客 户 业 务 需 求 ， 实 现 定 制 化 测 试 方 案 与 测 试 分 析 报 告 ， 极 大 地 满 足 客 户 需 求 并 保 证 服 务 品 质 。 一 体 化 专 业 服 务 以 独 特 的 创 新 技 术 和 严 谨 保 密 的 管 理 体 系 ， 凭 借 全 方 位 、 全 流 程 的 自 主 研 发 和 自 主 生 产 能 力 ， 满 足 客 户 与 市 场 的 高 品 质 需 求 。 核 心 技 术 微 纳 器 件 代 工 微 纳 器 件 设 计 光 刻 加 工 光 刻 技 术 是 微 纳 加 工 中 最 重 要 的 工 艺 步 骤 ， 该 步 骤 利 用 曝 光 和 显 影 在 光 阻 层 上 刻 画 几 何 图 形 结 构 ， 然 后 通 过 刻 蚀 工 艺 将 光 掩 模 上 的 图 形 转 移 到 所 在 衬 底 上 。 微 纳 飞 掌 握 紫 外 光 刻 、 电 子 束 光 刻 、 激 光 直 写 等 多 项 先 进 技 术 ， 确 保 高 精 度 和 高 品 质 器 件 产 品 的 交 付 。 刻 蚀 工 艺 刻 蚀 工 艺 是 微 纳 光 刻 加 工 工 艺 中 至 关 重 要 的 一 步 ， 分 为 干 法 刻 蚀 和 湿 法 腐 蚀 。 微 纳 飞 已 熟 练 应 用 离 子 束 刻 蚀 、 深 硅 刻 蚀 、 反 应 离 子 刻 蚀 、 聚 焦 离 子 束 刻 蚀 等 多 种 刻 蚀 技 术 ， 在 实 际 应 用 中 ， 实 现 高 效 、 精 准 、 高 深 宽 比 等 器 件 加 工 效 果 。 镀 膜 工 艺 镀 膜 是 指 在 衬 底 上 沉 积 单 层 或 多 层 从 单 原 子 层 到 数 微 米 厚 度 范 围 的 薄 膜 材 料 ， 常 用 薄 膜 材 料 主 要 包 括 金 属 、 半 导 体 以 及 氧 化 物 、 氮 化 物 等 化 合 物 。 镀 膜 技 术 主 要 分 为 物 理 气 相 沉 积 （ P V D ） 和 化 学 气 相 沉 积 （ C V D ） 两 类 。 微 纳 飞 拥 有 成 熟 的 镀 膜 设 备 ， 包 括 真 空 热 蒸 镀 、 电 子 束 蒸 镀 、 磁 控 溅 射 、 等 离 子 体 增 强 化 学 气 相 沉 积 （ P E C V D ） 、 低 压 化 学 气 相 沉 积 （ L P C V D ） 、 单 原 子 层 沉 积 （ A L D ） 等 ， 提 供 大 尺 寸 、 均 匀 、 致 密 的 高 质 量 薄 膜 沉 积 。 键 合 工 艺 键 合 是 微 纳 器 件 加 工 工 艺 中 封 装 的 关 键 工 序 之 一 ， 是 通 过 物 理 和 化 学 作 用 将 硅 片 与 硅 片 、 硅 片 与 玻 璃 或 其 它 材 料 紧 密 地 结 合 起 来 的 方 法 。 基 于 团 队 多 年 先 进 的 技 术 经 验 ， 掌 握 多 种 常 见 工 艺 技 术 ， 灵 活 应 用 于 各 类 需 求 和 产 品 ， 通 过 选 择 最 佳 的 键 合 工 艺 确 保 器 件 的 机 械 稳 定 性 、 密 封 性 以 及 功 能 满 足 程 度 。 光 刻 掩 膜 版 通 过 将 光 刻 掩 膜 版 多 元 化 地 应 用 在 各 类 微 纳 器 件 ， 进 行 定 域 扩 散 或 薄 膜 沉 积 。 融 合 独 特 工 艺 技 术 与 经 验 ， 协 助 刻 制 所 需 的 各 种 集 成 电 路 掩 膜 版 ， 以 成 熟 与 完 善 的 制 造 工 艺 与 技 术 管 理 ， 大 大 提 高 加 工 精 度 与 成 品 率 ， 并 有 效 地 降 低 成 本 、 缩 短 制 造 周 期 。 封 装 测 试 封 装 测 试 是 指 将 晶 圆 进 行 切 割 、 贴 片 、 引 线 键 合 、 封 装 、 老 化 测 试 等 一 些 列 加 工 制 程 ， 得 到 独 立 芯 片 的 过 程 。 根 据 终 端 产 品 的 需 求 ， 提 供 高 密 度 、 高 性 能 、 薄 型 化 、 小 型 化 的 系 统 级 封 装 方 案 。 微 纳 机 电 系 统 （ M E M S / N E M S ） 微 机 电 系 统 （ M E M S ） 是 将 微 电 子 技 术 与 微 机 械 系 统 融 合 到 一 起 的 一 种 工 业 技 术 ， 它 的 操 作 范 围 在 微 米 范 围 内 。 比 它 尺 度 更 小 的 ， 在 纳 米 范 围 的 类 似 技 术 被 称 为 纳 机 电 系 统 （ N E M S ） 。 常 见 的 产 品 包 括 压 力 传 感 器 、 温 湿 度 传 感 器 、 麦 克 风 、 微 马 达 、 微 泵 、 微 振 子 等 以 及 它 们 的 集 成 产 品 。 微 流 控 器 件 微 流 控 （ M i c r o f l u i d i c s ） 技 术 是 一 种 在 微 米 尺 度 空 间 精 确 控 制 和 操 控 微 尺 度 流 体 ， 将 生 物 、 化 带 格 式 表 格 学 等 大 型 实 验 室 的 基 本 功 能 微 缩 到 一 个 数 平 方 厘 米 芯 片 上 的 技 术 ， 又 称 为 芯 片 实 验 室 ( L a b o n a C h i p ) 或 微 流 控 芯 片 技 术 。 由 于 它 在 生 物 、 化 学 、 医 学 等 领 域 的 巨 大 潜 力 ， 微 流 控 芯 片 已 经 发 展 成 为 一 种 技 术 平 台 ， 既 可 以 应 用 于 化 学 分 析 、 生 物 医 学 分 析 、 食 品 检 验 ， 又 可 以 作 为 微 反 应 器 进 行 药 物 、 纳 米 粒 子 、 微 球 等 合 成 ， 还 能 作 为 器 官 芯 片 ， 用 于 仿 真 人 体 器 官 中 的 功 能 单 元 。 微 流 控 器 件 最 主 要 的 加 工 方 法 是 来 自 于 微 纳 加 工 的 光 刻 技 术 和 来 自 于 表 面 图 案 化 的 软 光 刻 技 术 。 行 业 应 用 微 电 子 传 感 器 微 流 控 芯 片 合 作 伙 伴 1 v 1 专 业 顾 问 服 务 定 制 化 服 务 方 案 ， 满 足 每 个 客 户 需 求 0 7 5 5 8 2 7 2 6 5 0 6 微 纳 飞 科 技 （ 深 圳 ） 有 限 责 任 公 司 W o n d e r F a b ( S h e n z h e n ) C o . , L t d . 商 务 电 话 ： 0 7 5 5 8 2 7 2 6 5 0 6 联 系 地 址 ： 深 圳 市 福 田 区 福 保 街 道 福 保 社 区 市 花 路 创 凌 通 科 技 大 厦 一 层 0 2 1 粤 I C P 备 2 0 2 1 1 3 7 7 3 1 号           C o p y r i g h t © 2 0 2 1 W o n d e r F a b ( S h e n z h e n ) A l l R i g h t s R e s e r v e d . 微 纳 飞 科 技 （ 深 圳 ） 公 司 版 权 所 有

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